“五一”前夕，全国总工会2023年庆祝“五一”国际劳动节暨全国五一劳动奖和全国工人先锋号表彰大会上传来喜讯，由沈阳市总工会推荐的沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称沈阳芯源微）获全国五一劳动奖状，成为沈阳市今年唯一获此殊荣的单位。

“劳动创造伟大！中国半导体行业的发展需要艰苦奋斗和追求卓越的工匠精神，而沈阳芯源微正是这样一支肯吃苦、能奋斗的匠人团队！”沈阳芯源微董事长宗润福说道。

20多年来，一代又一代芯源人秉承着“胸怀使命、追求卓越、创新开放、团结协作”的团队精神，努力破解中国半导体装备产业发展难题，逐步实现我国半导体装备从无到有、从“跟跑”到“并跑”的不断超越，走出了一条自力更生的发展道路。

半导体被称为制造业皇冠，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业，半导体装备则被称为这顶皇冠上的明珠，是核心中的核心、基础中的基础。20年前，国内半导体装备100%依赖进口，在各级政府的大力支持下，沈阳芯源微技术团队在辽沈半导体产业的不毛之地，开辟了半导体装备的拓荒之路！

沈阳芯源微研发的主产品光刻工序涂胶显影设备，通常与光刻机配合作业，共同保证光刻线宽和良率，是集成电路制造不可或缺的关键工艺设备。过去，日本东电电子占据了该领域90%的市场份额，为了打破国外垄断，早日实现国产替代，沈阳芯源微团队坚持内引外联培育创新，主持承办了高规格的首届沈阳国际IC装备论坛，配合市、区政府创立了沈阳IC装备联盟，联合沈阳优势企业申报国家科技重大专项，成为沈阳IC装备基地的开路先锋！

2008年和2012年，沈阳芯源微技术团队先后承担两次国家02科技重大专项，公司生产的后道涂胶显影设备与单片式湿法设备工艺水平及产品性能进一步提升，从先进封装领域、LED领域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域。2016年由团队带头人宗润福主导研发的集成电路InFO工艺制程涂胶显影设备成功通过台积电严苛工艺测试和大生产考核，在与国际顶级大公司的激烈竞争中拿到台积电的批量订单。通过台积电的验证，充分显示了芯源微的技术和产品竞争力，这也是国产半导体装备的重大突破，增强了国际大客户对国产半导体装备的信心，引领国产半导体设备走向全球。

2008年和2012年，沈阳芯源微技术团队先后承担两次国家02科技重大专项，公司生产的后道涂胶显影设备与单片式湿法设备工艺水平及产品性能进一步提升，从先进封装领域、LED领域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域。2016年由团队带头人宗润福主导研发的集成电路InFO工艺制程涂胶显影设备成功通过台积电严苛工艺测试和大生产考核，在与国际顶级大公司的激烈竞争中拿到台积电的批量订单。通过台积电的验证，充分显示了芯源微的技术和产品竞争力，这也是国产半导体装备的重大突破，增强了国际大客户对国产半导体装备的信心，引领国产半导体设备走向全球。

2018年，沈阳芯源微技术团队又向更高技术等级的前道涂胶显影设备领域发起冲击，成功突破了集成电路前道芯片制程领域的集束型多层匀胶显影机的核心技术，开发出集成电路前道芯片制程领域的集束型多层涂胶显影机，产品于2018年下半年分别发往上海华力、长江存储进行工艺验证并验收，实现了该类设备的首次市场化应用。截至目前，已陆续获得了多个前道大客户的订单，成功进军市场空间更加广阔的集成电路制造前道晶圆加工环节用涂胶显影设备领域。

沈阳芯源微的企业愿景是为客户创造价值，成为受社会尊重的世界级企业。“我们对世界级企业的定义是，首先规模上年收入要超过10亿美元，其次一定要走出国门，面向全球市场；第三要创新引领，不能总是停留在跟随阶段。芯源微坚定地聚焦主业、聚焦核心竞争力，脚踏实地、行稳致远。”宗润福如是说。

来源：沈阳发布客户端“i工会”频道 沈报全媒体记者 黄超